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當前位置：首頁產品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺H45壓電陶瓷納米臺標準線性平移臺 12~60μm

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壓電陶瓷納米臺標準線性平移臺 12~60μm

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產品型號：H45

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品牌	PDV/派迪威	應用領域	綜合

產品描述：

1、高速運動、直接驅動

2、設計小巧緊湊

3、閉環控制

4、可堆疊進行XY 運動

X 軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括 12/30/45/60μm 及可定制其他行程版本。

H45 系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅動元件，利用有限元優化的固態撓性導向系統可確保平移運動。平臺采用了無摩擦柔性機構，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩定的性能，使其適用于動態過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進或連續掃描等。閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。

壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上，請使用轉接板轉接。在緊固過程中，應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側向力，這些外力可能會損壞位移臺。

選配功能：可定制轉接工裝、可選PZT&Sensor 連接器及線纜長度、可選配閉環(SGS) 位置反饋系、可組維、可定制其他行程。

應用領域：掃描顯微鏡、光纖端面檢測、干涉儀、測量技術、3D 錫膏檢測、光子、光纖定位、干涉、納米光刻、納米定位、電化學加。

產品參數：

規格型號 1	H45-01	H45-030	H45-045	H45-060	公差 8
運動軸	X	X	X	X	-
集成傳感器	SGS	SGS	SGS	SGS	-
標稱行程范圍 2（@0~+120V）	12 μm	30 μm	45 μm	60 μm	±5%
ZUI大行程范圍 2（@-20~+150V）	20 μm	40 μm	60 μm	80 μm	±20%
分辨率 3	0.1 nm	0.3 nm	0.4 nm	0.5 nm	typ.
最小移動步長 4	0.4 nm	1.0 nm	1.5 nm	2.0 nm	typ.
線性誤 cha	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	typ.
重復定位精度（全行程）	0.05%	0.05%	0.05%	0.05%	typ.
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉）	10 μrad	10 μrad	10 μrad	10 μrad	typ.
承載能力 5	50 N	50 N	50 N	50 N	Max.
諧振頻率（0g）	3000 Hz	2500 Hz	2000 Hz	1500 Hz	±20%
運動方向剛度	40 N/μm	40 N/μm	40 N/μm	40 N/μm	±20%
運動方向推力/拉力	450N / 100N	450N / 100N	450N / 100N	450N / 100N	±20%
驅動機構	PZT	PZT	PZT	PZT	-
工作溫度范圍	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	typ.
線纜長度 6	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	-	-	-	-	-
外形尺寸（長×寬×高）	45 ×45 ×15 mm	45 ×63 ×15 mm	45 ×81 ×15 mm	45 ×99 ×15 mm	-
重量 7	65 g	100 g	150 g	200 g	±5%
PZT&Sensor 連接器	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	-
本體材質	鋁	鋁	鋁	鋁	-