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高精度直線電機(jī)升降臺派迪威儀器

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產(chǎn)品型號：PT-ZXZ 50

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品牌	PDV/派迪威	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

高精度直線電機(jī)升降臺產(chǎn)品參數(shù)：

型號	PT-ZXZ 50	PT-ZXZ 100
行程（mm）	50	100
負(fù)載（kg）	4	4
分辨率（um）	0.1	0.1
最小步進(jìn)量（um）	0.3	0.3
單向重復(fù)定位精度/保證值（um）	±0.5 or 1	±0.5 or 1
單向重復(fù)定位精度/典型值（um）	±0.2 or 0.6	±0.3 or 0.6
雙向重復(fù)定位精度/保證值（um）	±1 or 2	±1 or 2
雙向重復(fù)定位精度/典型值（um）	±0.5 or 1	±0.5 or 1
定位精度/保證值（um）	±2 or 4	±2 or 4
定位精度/典型值（um）	±1 or 2	±1 or 2
最大速度（mm/s）	100	100
直線度（um）	10	10
平整度（um）	10	10
偏擺	20	20
俯仰	20	20
持續(xù)推力（N）	17.6	17.6
峰值推力（N）	88	88
重量（kg）	6.5	10.2

※ 備注

1：水平放置下的中心垂直負(fù)載。

2：最小運(yùn)動增量不等同于分辨率，最小運(yùn)動增量是指運(yùn)動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運(yùn)動增量。考慮傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機(jī)位移臺與步進(jìn)電機(jī)位移臺相比，其最小運(yùn)動增量更加接近于分辨率。

3：精度測量數(shù)據(jù)是平臺在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數(shù)據(jù)。

4：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南。

5：最大速度為典型值，根據(jù)負(fù)載和控制器的不同會有區(qū)別。

高精度直線電機(jī)升降臺產(chǎn)品詳情：

高精度、結(jié)構(gòu)緊湊、集成靈。

直線電機(jī)垂直升降臺，專為需要高精度垂直定位的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計。升降臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，具備高精度、高穩(wěn)定性、低噪音等特點(diǎn)，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，提供多種行程和配置選擇，滿足多樣化的應(yīng)用需求。

主要特點(diǎn):

多種行程可選，滿足更多應(yīng)用需求：提供 50mm 和 100mm 兩種行程選擇，結(jié)構(gòu)緊湊，可靈活集成于各種空間受限的應(yīng)用場景。

精密結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定可靠：采用集成式一體化交叉滾柱導(dǎo)軌和高品質(zhì)直線電機(jī)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)化安裝工藝，確保運(yùn)動精度和長期穩(wěn)定的可靠性，Pitch 和 Yaw 精度表現(xiàn)優(yōu)異。

高分辨率，精細(xì)控制：升降臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，擁有微步能力，配合高性能控制器，可實(shí)現(xiàn)微米級的精細(xì)定位，滿足對精度的追求。

兩種配重方案，適應(yīng)不同應(yīng)用環(huán)境：可選配恒力彈簧或氣缸配重，滿足不同負(fù)載和速度需求，保證運(yùn)動平穩(wěn)、一致性高。

*音運(yùn)行，打造舒適環(huán)境: *音位移臺，適用于對噪音敏感的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境和高性能工業(yè)場所。

強(qiáng)大軟件支持，輕松操控: 免費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)版 SDK，支持 Window、Linux 環(huán)境下多種開發(fā)語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用戶進(jìn)行二次開發(fā)和系統(tǒng)集成。

高性能控制器，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜運(yùn)動: 控制器支持圓弧插補(bǔ)、直線插補(bǔ)、位置記憶和任意圖形導(dǎo)入，可滿足各種復(fù)雜運(yùn)動控制需求。(選配）

靈活通訊，無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制，實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定的數(shù)據(jù)傳輸。

產(chǎn)品應(yīng)用：

精密Z軸 Precision Z-axis、儀器設(shè)備 High-end Equipment、半導(dǎo)體檢測 Semiconductor Inspection、半導(dǎo)體切割 Semiconductor Cutting。

性能實(shí)測：

產(chǎn)品尺寸：

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